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在不斷增加的高效率、低成本晶硅太陽能電池市場需求驅動下, 微導為單、多晶高效太陽能電池技術提供高性能ALD鈍化生產解決方案。與傳統的鋁背場電池相比，微導光伏技術適用于多種高效晶硅太陽能電池生產線的新建、改造和升級, 可以將太陽能電池轉換效率進一步提升1%以上。微導光伏產品具有自有專利技術, 為高效太陽能電池的制造提供完整的解決方案。微導為光伏電池生產提供技術先進、使用成本低的產業化系統。 |
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夸父系列原子層沉積鍍膜系統
微導的夸父系列工業批量型原子層沉積(ALD)系統采用自主知識產權的反應腔體設計和先進的薄膜沉積技術, 確保為晶硅太陽能電池表面鈍化提供高質量超薄三氧化二鋁鈍化膜。微導全自動高級夸父系列ALD系統為光伏產業化高效電池提供超高產能的同時, 可降低設備的運營成本，為客戶提供可靠的量產解決方案。
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工藝材料 |
工藝溫度 |
薄膜厚度均勻度 |
產能 |
運行率 |
破片率 |
維護周期 |
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技術參數 |
Al2O3 SiO2, 可選 |
150-300（℃） |
片內:≤1% 片與片:≤2% 批與批:≤2% |
4000 (片/小時，10 nm) |
≥96% |
≤0.1% |
>6月 |
后羿系列板式化學氣相沉積/原子層沉積鍍膜系統
微導HY4000系統結合了空間CVD和ALD技術和專有的上下料自動化可進行自動在線三氧化二鋁薄膜鈍化層工藝。專用于大批量生產單面鈍化層，后羿系統可提供高質量的鈍化膜和低生產成本。與“黑硅”技術相結合, 微導為進一步增強PERC電池為基礎的太陽能電池的轉換效率提供了解決方案。
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工藝材料 |
工藝溫度 |
薄膜厚度均勻度 |
產能 |
運行率 |
破片率 |
維護周期（天） |
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技術參數 |
Al2O3 | 150 - 300 (℃) |
片內: ≤3% 片與片: ≤3% 批與批: ≤3% |
4000 (片/小時，10 nm) |
≥95% |
≤0.1% |
20天 |
客戶化的解決方案
